Началом научного этапа в развитии вакуумной техники можно считать 1643 год, когда Торричелли впервые измерил атмосферное давление.
Отто фон Герике (1602–1686) – немецкий физик, инженер и философ – в 1650 году изобрёл вакуумную откачку и применил своё изобретение для изучения свойств вакуума и роли воздуха в процессе горения и для дыхания человека. В 1654 году провёл известный эксперимент с Магдебургскими полушариями, который доказал наличие давления воздуха; установил упругость и весомость воздуха, способность поддерживать горение, проводить звук.
В 1657 году изобрел водяной барометр, с помощью которого в 1660 году предсказал надвигающуюся бурю за 2 часа до её появления, таким образом войдя в историю как один из первых метеорологов.
В 1663 году изобрёл один из первых электростатических генераторов, производящих электричество трением – шар из серы, натираемый руками. В 1672 году обнаружил, что заряженный шар потрескивает и светится в темноте (первым наблюдал электролюминесценцию). Кроме того, им было обнаружено свойство электрического отталкивания однополярно заряженных предметов.